Helios是全自動實時材料分級和過程控制的在線監(jiān)控設備，
鑒別太陽能電池材料中可能降低效率的隱性傷痕，提高生產(chǎn)效率的同時降低成本。每條生產(chǎn)線每年提升效益170萬美元！
應用：
1.進料監(jiān)控 通過少子壽命自動對晶圓定級
2.過程控制 監(jiān)控和優(yōu)化關鍵工序，如擴散和鍍膜等
3.損傷鑒別 檢測電池片成品的破損和微小裂痕
特點：
1. 線上監(jiān)控或線下分析都適用
2. 采用InGaAs探頭提升測量靈敏度，減少檢測時間
3. 采用高靈敏光學成像技術，每片晶圓測試時間<1s
4. 鑒別并預防低質(zhì)量材料進入高損耗工序，降低成本
5. 采用簡單明了的圖形界面和是非判定
6. 相比于其他同類PL系統(tǒng)更具性價比
